默森科技
Mosen Tech
丰富的经验，成熟的技术
Company depends on abundant practice experience and mature technology product
碳碳材料化学气相沉积炉主要用于以碳氢气体（如C3H8、CH4等）为碳源的材料表面或基体的CVD/CVI处理。
主要技术指标：
参数/型号
CVD600-CVD5000
工作区尺寸
按客户需求定制
安装形式
立式
加热器分布方式
圆周
加热器材质
石墨
含锆硅酸铝模块砖
最高温度（℃）
1100
温度均匀性（℃）
±7.5
极限真空度（Pa)
工作真空度（Pa）
200Pa
压升率（Pa/h）
10
工作压力（绝对压力MPa）
0.12
CH3/N2
配置选择：
炉门
铰链回转式/吊装式；手动锁紧
马弗罐
C-C复合材料
炉壳
冷却速度
随炉冷却/快速冷却
气路控制
体积/质量流量计；手动阀/自动阀；进口/国产
真空泵和真空计
进口/国产
操作面板
控温仪表
岛电/欧陆
施耐德/西门子
