参数/型号

VBF150-VBF300

工作区尺寸

按客户需求定制

安装形式

卧式

加热器分布方式

圆周

加热器材质

钼

保温材料

全金属反射屏

最高温度（℃）

1500

温度均匀性（℃）

±5

极限真空度（Pa）

5×10-4Pa

工作真空度（Pa）

5×10-2Pa

压升率（Pa/h）

0.67

快速气冷压力（MPa）

0.2

工艺气氛

Ar/N2

炉门

铰链回转式；手动锁紧

炉壳      

内层不锈钢/全不锈钢

炉胆

钼镧合金+不锈钢

冷却速度

随炉冷却/快速冷却

气路控制

体积/质量流量计；手动阀/自动阀；进口/国产

真空泵和真空计

进口/国产

操作面板

触摸屏/工控机

PLC

欧姆龙/西门子

控温仪表

岛电/欧陆

热电偶

C分度号（钼套管/陶瓷套管）

电器元件

正泰/施耐德/西门子