参数/型号    

VHF200-VHF1000 

工作区尺寸 

按客户需求定制

安装形式 

立式/卧式 

加热器分布方式 

圆周/六面分布/上下 

加热器材质 

高纯石墨/钨/钼/高温合金 

保温材料

硬质碳毡/复合碳毡/全金属屏 

最高温度（℃）

2400

温度均匀性（℃）

±5 

极限真空度（Pa)

8×10-4Pa

工作真空度（Pa） 

5×10-3Pa 

压升率（Pa/h）

0.67

工作压力（绝对压力MPa）

0.12 

工艺气氛

Ar/N2 

加载最高压力

5T--800T任选

压头位移精度

0.1mm

压力波动

±0.1MPa 

炉门    

铰链回转式；手动锁紧

炉壳 

全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢 

炉胆 

软碳毡+硬质复合毡/全硬质复合毡/钼镧合金+不锈钢/钨合金+钼镧合金+不锈钢

冷却速度

随炉冷却/快速冷却 

气路控制 

体积/质量流量计；手动阀/自动阀；进口/国产

真空泵和真空计

进口/国产

操作面板 

触摸屏/工控机

PLC

欧姆龙/西门子

控温仪表

岛电/欧陆 

热电偶

C分度号（钨套管/钼套管/陶瓷套管）；红外测温仪

电器元件

正泰/施耐德/西门子 

液压阀

伺服阀/比例阀；单压/双压

液压控制方式

流量或压力控制